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    139-2342-9552

    8-12寸半自動劃片機

    BT3352 精密砂輪劃片機

    高效率高精度高性能

    BT3352 精密砂輪劃片機主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發光二極管、LED芯片、太陽能電池、熱敏電阻、壓電陶瓷、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

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    產品詳情產品參數樣品案例

    產品介紹

    可用于集成電路QFN、壓電陶瓷、發光二極管、分離器件、光通訊器件、LED芯片、熱敏電阻、光學器件、陶瓷電路器件的劃切分離加工。適用于硅、石英、玻璃、藍寶石、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵和鈮酸鋰等材料的劃切加工。最大兼容8英寸晶圓,具有單主軸和雙主軸的機型。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉,將晶圓或器件沿切割道方向進行切割或開槽。 

    產品介紹:

    ● 1.8KW(2.4KW可選) 大功率直流主軸

    ● 高剛性龍門式結構

    ● T軸旋轉軸采用DD馬達

    ● 進口超高精密級滾柱型導軌

    ● 進口超高精密滾珠型絲桿

    ● CCD雙鏡頭自動影像系統

    ● 友好人機交互界面

    ● 瑞士進口滾柱導軌,精度高,耐用性久,穩定性高,超高直線度,實測0.9μm

    ● 采用進口研磨級超高精密滾珠絲杠,定位精度可達2μm全行程

    ● 自動對焦功能,具有CSP切割功能,具有 在線刀痕檢測功能

    ● NCS非接觸測高,BBD刀破損檢測,自動修磨法蘭功能

    ● 工件形狀識別功能,更加友好人機界面

    ● 自動化程序著提升

    ● 滿足各種加工工藝需求



    產品參數

    項目

    產品型號

    BT3352 精密砂輪劃片機


    加工尺寸

    ?305mm/260mm×260mm或定制

    X軸

    最大速度

    600mm/s

    直線度

    2μm全行程

    Y軸

    有效行程

    310mm

    定位精度

    2μm全行程

    分辨率

    0.1μm

     Z軸

    有效行程

    40mm

    單步步盡量

    0.0005mm

    最大刀輪直徑

    60mm或定制

    T軸

    轉動角度范圍

    380

    主軸

    最大轉速

    60000rpm

    額定輸出功率

    直流1.8/2.4KW

     基礎規格

    電源

    220V/50Hz

    壓縮空氣

    0.5-0.6Mpa、Max220L/min

    切削水

    0.2-0.3Mpa、Max 4L/min

    排風流量

    3m3/min

    尺寸(mm)

    1080X1160X1810

    重量

    1200KG



    樣品案例

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